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大型液晶玻璃基板的洗净技术

作者:Admin        发布时间:10/07/08

一.序
LCD显示屏之用途以电脑、手提电话以至在电视上的需要也正在急速的增长。
各LCD显示屏厂商为增加产量简化生产工序、减低成本等,正在不断地努力,在a-siTFT之显示屏中,为增加产量特别把母玻璃尺寸增大之事宜作出测试。
示图1 母玻璃尺寸在2001年第5期时(1200mm*1200mm级)、2002~2003年时第5+期(1100mm*1250mm级)及6期(1250mm*1650mm级)等尺寸的生产予预测速度。

图1 母玻璃尺寸
母玻璃尺寸之推移
HC-4意像图

此论文、目的是介绍在开发过程中,研究出对大型LCD基板主要之洗净技术成果。

二.清洗SEAL
对于清洗玻璃基板时,主要清洗分别以微粒子污染、有机物、金属物去微粒子的SEAL,与有关尼龙毛刷加以说明。
1)随着玻璃基板之大型化,以刷辊清洗方式进行时,接触面增大时磨擦力也随之增加的情况下,运送时出现有不安定及洗净效果不均等情况。

 

2)按此问题计算,刷毛之直径从本来的0.07mm改为0.05mm。增加植毛密度(3倍)后刷毛的测试参数如下图2:

图2 刷毛之按着力量及摩擦力

接着力增加时,刷毛直径0.07玻璃基板表面之摩擦力比例引对地增加。当刷毛直径0.05mm时所产生之摩擦力一定会比前者少。
在玻璃基板运送时之影响也有一定之改善。
以2种不同直径毛刷之洗净评价结果如下图3。而毛刷直径0.07mm的洗净性能与毛刷之滚动数有相对关系,0.05mm毛刷是以较阔范围的滚动,使它有洗净的安全性。这个也与植毛之密度高的效果下有直接关系。

图3 残留粒子的评价

三.干燥seal
湿清洗处理后之玻璃基板,需干燥处理,而一般多以采用spin干燥方式或气刀方式。
玻璃基板尺寸之大型化下与TACT TIME化的进行中

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